關(guān)于SPOC系列
SPOC-1100T
SPOC-1100T系列是用于制造DWDM用窄帶濾光片的真空鍍膜系統(tǒng)。能進(jìn)行高精度的光學(xué)多層膜鍍膜,生產(chǎn)光通信用的濾光片。 SPOC-1100R是用于截止濾光片,分束器,抗反射膜等光學(xué)鍍膜機(jī)。
- 特征
- 利用高精度反射光學(xué)膜厚計實(shí)時測定和控制成膜時的膜厚
- 利用高速基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)提高膜的均勻性
- 搭載雙電子槍并加大型坩堝,能對應(yīng)超多層薄膜
- 配上OPTORUN`產(chǎn)離子源實(shí)現(xiàn)高蒸發(fā)速率,提高生產(chǎn)率